SEMICONDUCTOR
8 吋／12 吋卡匣收送板機
配合晶圓載具及收送流程，進行客製化機構與自動化整合。
SYU PEN TECHNOLOGY CO., LTD.
設備實績
以下為旭本團隊累積的客製化設備案例，涵蓋半導體、電子與產業自動化需求。
客製化，
是每一套設備的起點。
從不同產業的實務經驗出發，旭本把設計、製造與現場導入整合為可落實的方案。
SEMICONDUCTOR
晶圓傳載設備
依晶圓尺寸、取片夾爪與流程條件，規劃搬運及定位功能。
SEMICONDUCTOR
FOUP／Cassette 充氣設備
可整合氮氣充填、載具偵測與多站點流量控制。
SEMICONDUCTOR
製程清洗設備
依清洗、加溫與製程紀錄需求，進行設備與模組客製設計。
AUTOMATION
貼標與組裝設備
導入產品定位、辨識、貼標與組裝流程，支援產線自動化需求。
SEMICONDUCTOR
晶圓清洗設備
依晶圓清洗流程、治具與現場條件，規劃專屬設備與模組整合。